柔性壓力傳感器常用基底與薄膜材料柔性壓力傳感器是由柔性材料制成，用于感知物體表面作用力大小的柔性電子器件。其通過貼附于各種不同物體的表面，來感受物體的壓力變化。柔性壓力傳感器除了具有剛性壓力傳感器的特點外，還具有良好的延展性、透明性、柔韌性，可自由彎曲折疊且方便穿戴或攜帶，能夠快速、高效以及準確地感應(yīng)到物體所受的壓力變 化，在醫(yī)療健康、機器人“皮膚”、智能運動、智能服裝以及生物力學領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。標準的柔性壓力傳感器一般由一片薄膜、一片柔性基底和內(nèi)表鋪設(shè)導(dǎo)體及半導(dǎo)體構(gòu)成，如圖 1所示。

1. 1 柔性壓力傳感器常用基底材料

       柔性壓力傳感器的基底由具有質(zhì)地較軟、易彎折、輕便等屬性的柔性材料制成。常見的柔性材料有：聚酰亞胺（以下簡稱 PI）、聚二甲基硅氧烷（以下簡稱 PDMS）、紙片、紡織材料等。PI 是綜合性能#佳的有機高分子材料之一，其具有很好的機械性能，優(yōu)良的輻射性能，抗張強度高，長期使用溫度可達 250 ℃，耐化學性藥品，一般不溶于有機溶劑，對烯酸穩(wěn)定等優(yōu)點，但其耐水解性能較差［1］。

       目前，在較多柔性基底材料研究中，PDMS 方便易得、透明、化學穩(wěn)定性及熱穩(wěn)定性好，在紫外光下，其黏附區(qū)和非黏附區(qū)的特征明顯，使其表面可以很容易黏附電子材料，因而成為了shou選基底材料。

 

 1. 2 柔性壓力傳感器常用薄膜材料

       柔性壓力傳感器根據(jù)其被測量信息的不同需求，其常用薄膜材料也不同。常用薄膜材料有納米復(fù)合薄膜、透明導(dǎo)電氧化物薄膜、金屬薄膜等。金屬薄膜的優(yōu)點在于可明顯改變其表面特征，賦予其各種新的功能，而且基底柔軟，易彎曲。透明導(dǎo)電氧化物薄膜不僅具有良好的導(dǎo)電性，而且可折疊、不易碎、便于運輸、質(zhì)量輕，具有可見光范圍光學透明性［2］。納米復(fù)合薄膜材料#初在傳感器上的使用是以超微顆粒為主。近年來，由于低維材料、列陣材料的廣泛應(yīng)用，碳納米粉復(fù)合材料［3］、碳納米管復(fù)合材料［4］、碳納米管/炭黑/硅橡膠復(fù)合陣列［5］等材料被廣泛應(yīng)用于傳感器中。

 

2 柔性壓力傳感器在智能紡織品中的應(yīng)用種類

2. 1 壓阻式柔性壓力傳感器

       壓阻式柔性壓力傳感器主要是將導(dǎo)電相，如碳纖維、碳納米管、金屬顆粒等，摻入到絕緣基底材料 PI、PDMS 等中制成柔性壓阻材料［6］。壓阻式柔性壓力傳感器是通過感應(yīng)由外力造成的電阻變化而產(chǎn)生的電信號來直觀讀取外力的變化。當外力作用到傳感器的感應(yīng)點上時，其阻值與外力會呈負相關(guān)變化，即當壓力趨為零時，阻值越大；壓力越大，阻值越小。該類傳感器種類繁多，基于器件單一和信號導(dǎo)出機制簡單的特 點 ，成 為 目 前 運 用 # 為 廣 泛 的 一 類 壓 力 傳感器。 

 

2. 2 電容式柔性壓力傳感器

       電容式柔性壓力傳感器通常是以一種鍍金屬的薄膜或者金屬薄膜作為電容器的電極。其可以將感受到的外界壓力變化轉(zhuǎn)換為一種電信號，主要通過感受外界壓力從而產(chǎn)生電容，靠電容改變來獲得相應(yīng)的電信號［7］。電容式柔性壓力傳感器的工作原理是：當外界給予一定的壓力時，其鍍金屬的或者金屬的薄膜會感受到壓力從而變形，此時薄膜與固定電極之間的電容隨之發(fā)生變化，從而輸出相應(yīng)的電信號。這種柔性壓力傳感器具有較高的響應(yīng)速度和動態(tài)范圍，且對力的變化敏感度較高，所以其可以在較低耗能的情況下，完成對微小靜態(tài)力的精que檢測［8］。

 

 2. 3 壓電式柔性壓力傳感器

       壓電式柔性壓力傳感器主要由壓電敏感材料，如聚偏氟乙烯等組成，其運用壓電材料實現(xiàn)壓力對電信號的轉(zhuǎn)換。其工作原理是：壓電系數(shù)越高，壓電敏感材料的能量轉(zhuǎn)化率越高，其轉(zhuǎn)化的電信號就越強。壓電式柔性壓力傳感器是運用壓電材料實現(xiàn)壓力對電信號轉(zhuǎn)換的傳感器。這類柔性壓力傳感器的靈敏度、精que度、壓電系數(shù)以及響應(yīng)速度較高，因此主要作為柔性觸摸傳感器被廣泛使用［9］。 

 

2. 4 適用性

       壓阻式、電容式以及壓電式柔性壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖如圖 2 所示。

       由于不同柔性壓力傳感器有其自身適用范圍的限制，其在智能紡織品與智能服裝中的應(yīng)用種類也具有一定的局限性。壓阻式、電容式以及壓電式柔性壓力傳感器都具有使用限制范圍小、靈敏度、精que度高等特點，因此均可適用于智能紡織品尤其是智能服裝中。

 

 3 柔性壓力傳感器的創(chuàng)新研究狀況

       柔性壓力傳感器結(jié)構(gòu)形式靈活多樣，可根據(jù)測量條件的要求任意布置，能夠非常方便地對特殊環(huán)境與特殊信號進行精que快捷測量，解決了傳感器的小型化、集成化、智能化發(fā)展問題，這些新型 柔 性 壓 力 傳 感 器 在 智 能 服 裝 中 有 著 重 要 作用［10］。但目前對于柔性基底、薄膜等用于柔性壓力傳感器的材料制備技術(shù)工藝水平還不成熟，在成本、適用范圍、使用壽命等方面還存在問題［11］。常用柔性基底存在不耐高溫的缺點，導(dǎo)致柔性基底與薄膜材料間應(yīng)力大、黏附力弱。柔性傳感器的組裝、排列、集成和封裝技術(shù)也還有待進一步提高［12］。為了獲得高性能的柔性壓力傳感器，研究者們在傳感器的材料、結(jié)構(gòu)及器件設(shè)計等方面進行了一系列的創(chuàng)新型研究工作。

 

 3. 1 柔性壓力傳感器材料設(shè)計

       GAO Lei 等人開發(fā)了一種全紙基壓阻式（以下簡稱 APBP）壓力傳感器，這種壓力傳感器是基于以銀鍍納米線 AgNws 為傳感器的薄膜，以納米纖維素紙 NCP 為基底，用于印刷電極。APBP壓力傳感器在 1. 5 kPa 的范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。0. 03 kPa~30. 2 kPa，在彎曲狀態(tài)下可保持良好的性能，可安裝于人體皮膚，對人生理（如動脈心脈，咽喉發(fā)聲）進行監(jiān)測，成功應(yīng)用于軟性電子皮膚對外界的反應(yīng)。其具有成本低、工藝簡單、制備速度快、易于焚燒處理等優(yōu)點［13］。LIU Kangning 等以聚苯胺涂層織物的好特層次結(jié)構(gòu)，較大的表面粗糙度和高導(dǎo)電率的交織物電極作為活性材料，構(gòu)建了高性能、柔性、全織物壓電式壓力傳感器。該傳感器具有很高靈敏度，寬線性（<4. 5 kPa）46. 48 kPa-1，快速響應(yīng)/弛豫時間（7 ms/16 ms）和低檢測限（0. 46 Pa）等優(yōu)點，在人體壓力檢測中有實際應(yīng)用［14］。

 

 3. 2 柔性壓力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計

       ZHOU J W 等人設(shè)計了一種基于夾層壓電駐極體結(jié)構(gòu)的柔性貼片。其具有高等效壓電系數(shù)（4 050 Pc/N），可選擇性地執(zhí)行驅(qū)動或傳感功能。作為傳感器，壓力檢測限為 1. 84 Pa，靈敏度高，穩(wěn)定性好［15］。

 

       YU Zhenzhong 等設(shè)計了一種由兩個圖形化的 PPY/PDMS 薄膜和不同方向的鋸齒形陣列面對面疊而成，其核心是橫桿設(shè)計。其工作原理為，兩片 PPY/PDMS 薄膜之間的電阻變化由其所受壓力引起，當傳感器受到外力作用時，PDMS膜上的矩形列陣會產(chǎn)生相當大的彈性變形，從而導(dǎo)致兩片 PPY/PDMS 之間的接觸區(qū)增大。接觸電 阻 會 顯 著 降 低 。 相 反 ，當 外 力 釋 放 時 ，兩 種PPY/PDMS 薄膜都恢復(fù)了原來的形狀，導(dǎo)致導(dǎo)電面積減小。

 

       接觸電阻就會恢復(fù)到原來的形狀［16］，具體如圖 3 所示。

3. 3 柔性壓力傳感器器件設(shè)計

       王瑞榮等提出了一種微結(jié)構(gòu) PDMS 為介質(zhì)層的柔性陣列壓力傳感器，采用微電子機械系統(tǒng)MEMS 工藝實現(xiàn)了傳感器電極的制備，采用三明治的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了柔性陣列壓力傳感器的制備。其采用微結(jié)構(gòu) PDMS 為介質(zhì)層明顯提高了傳感器的靈敏度，當介質(zhì)層厚度為 0. 5 mm 時，0 kPa~5 kPa 和 5 kPa~20 kPa 下傳感器的靈敏度分別為0. 18 kPa-1和 0. 02 kPa-1，同時傳感器具有良好的重復(fù)性（>1 000 次）、快速的響應(yīng)時間（<200 ms）和低的檢測極限（約為 5. 5 Pa）。該傳感器能夠準確、靈活地監(jiān)測外部壓力的變化和分布，適用于未來智能機器人中電子皮膚的應(yīng)用［17］。

 

       史瑞龍等研制了一種基于微結(jié)構(gòu)銀納米線的柔性透明電容式壓力傳感器。其與具有平面結(jié)構(gòu)的純 PDMS 介電層相比，具有較高的靈敏度（0. 831 kPa-1，<0. 5 kPa-1），較低的檢測限，良好的穩(wěn)定性與耐久性。通過討論導(dǎo)電填料含量和圖案化微結(jié)構(gòu)的增強傳感機制，制作了用作柔性和透明可穿戴觸摸鍵盤系統(tǒng)的 5×5 傳感陣列［18］，如圖 4 所示。

3. 4 創(chuàng)新成果

       目前已經(jīng)研制出了一些基于新型材料與結(jié)構(gòu)的高性能、低成本的柔性壓力傳感器。這些創(chuàng)新型柔性壓力傳感器通過對傳感器材料、結(jié)構(gòu)以及器件設(shè)計的創(chuàng)新研究，提高了柔性壓力傳感器的靈敏度，解決了柔性壓力傳感器成本高、適用范圍小以及壽命短等問題，并且進一步提高了柔性壓力傳感器的靈敏度與精que度，促進了柔性壓力傳感器的發(fā)展。對柔性壓力傳感器材料、結(jié)構(gòu)和器件設(shè)計的創(chuàng)新研究，是推動柔性壓力傳感器發(fā)展的根本動力。

 

 4 柔性壓力傳感器在智能紡織品中的應(yīng)用現(xiàn)狀

       智能紡織品是一種以智能材料為基礎(chǔ)的紡織品與現(xiàn)代信息集合的產(chǎn)物。它是將紡織品與現(xiàn)代電子技術(shù)、納米技術(shù)、材料科學以及生物科學等技術(shù)相結(jié)合，使傳統(tǒng)紡織品的性能大幅度提升，從而推進現(xiàn)代紡織品的科技進展［19］。柔性壓力傳感器在智能紡織品和智能服裝中的應(yīng)用領(lǐng)域主要包括醫(yī)療健康和運動防護兩大類。

 

 4. 1 醫(yī)療健康領(lǐng)域

       基于柔性壓力傳感器的智能紡織品與智能服裝在日常生活中，一般是通過藍牙與手機建立通訊，其主要功能為測量一些行走步數(shù)、心率和皮膚導(dǎo)電率等日常參數(shù)，或通過加速度傳感器測量人在睡眠時的姿態(tài)，從而反映睡眠質(zhì)量［20］。將智能紡織品應(yīng)用到醫(yī)療領(lǐng)域，可為醫(yī)生提供病人的實際情況，從而制定更適合的治療方案，也為醫(yī)生及時掌握病人情況提供便利。目前，可穿戴傳感器已經(jīng)應(yīng)用于監(jiān)測部分疾病，既可以作為預(yù)防性手段防止突發(fā)疾病的發(fā)生，又可以作為輔助性治療手段和監(jiān)測手段有利于人體的康復(fù)［21］。MIN S D 等提出了一種簡化結(jié)構(gòu)的織物電容式呼吸傳感器［22］，用于由導(dǎo)電織物和聚酯組成的呼吸監(jiān)測系統(tǒng)。在監(jiān)測過程中，呼吸速率由TCRS 中兩個織物板之間的距離變化決定，該距離變化測量腹部直徑隨呼吸運動而變化的力。該紡織傳感器在監(jiān)測呼吸頻率方面取得了優(yōu)異的效果；但是也存在著一些問題，如清洗方法和針對不同人群的制造。

 

       LEAL A G［23］等設(shè)計了一種用于同時測量呼吸和心率的聚合物光纖 POF 傳感器的研制。該傳感器作為一種智能紡織解決方案嵌入用戶衣服中。此外，還提出了一種信號處理技術(shù)，可以在不受身體運動影響的情況下，在使用者胸部不同位置獲得呼吸和心率。在頻域內(nèi)對傳感器信號進行了處理和分析，并采用了不同的濾波器。結(jié)果顯示：呼吸和心率的誤差分別低于每分鐘 2次和每分鐘 4 次呼吸，即使用戶正在進行周期性的身體運動，如步態(tài)誘發(fā)的運動。因此，所提出的基于 POF 的智能紡織品是一種低成本、高精度的解決方案，可以很容易地應(yīng)用于家庭患者的遠程監(jiān)控，而不會干擾他們的日常活動。傳感器嵌入彈性帶示意圖及胸部傳感器位置示意圖如圖 5所示。

       AU Koyama 等設(shè)計了一種新型智能紡織品，它采用單模異質(zhì)芯光纖傳感器監(jiān)測心跳和呼吸，并通過編織設(shè)計了智能紡織品［24］。異質(zhì)芯光纖與羊毛織物結(jié)合在一起。這種新型織物可以檢測到變化。形狀可以融入衣服中，這樣的衣服可以給穿著者帶來舒適感，為了同時監(jiān)測心跳和呼吸，可將織物縫在衣服上，感知胸部運動產(chǎn)生的微小負荷變化以及生命體征。

 

 4. 2 運動防護

       智能紡織品應(yīng)用于運動防護可大大降低由于運動不當所造成的人體損傷情況［25］。防護服裝的總發(fā)展趨勢是全面防護，實現(xiàn)由單一危險因素防護到多種危害因素的綜合防護［26］。智能服裝通過傳感器能夠測量人體四肢關(guān)鍵肌腱群之間以及皮膚之間的壓力，能夠評估肌肉收縮舒張狀況和肢體位置；同時，智能服裝能夠測量運動員姿態(tài)并判斷姿態(tài)的準確性，通過反饋及時調(diào)整訓練方案，促進運動員提高成績［27］。

 

       TAKEDA R 等［28］利用可穿戴傳感器區(qū)分人體的運動狀態(tài)并正確評價運動動作的正誤。在此過程中，主要通過加速度傳感器和陀螺儀測量出髖部、膝蓋、腳踝這三個部位屈伸的角度，與攝像機采集系統(tǒng)進行對照，同時對比左右腿部位的檢測狀況，依據(jù)角度曲線對人體姿態(tài)做出診斷。

 

       Textronics 公司生產(chǎn)了一款工程化無縫運動內(nèi)衣 Numetrex Whit，其采用鍍銀尼龍和棉質(zhì)萊卡面料。這款內(nèi)衣在特定區(qū)域包含集成的針織傳感器，可通過內(nèi)衣中針織面料的壓力直接檢測心率［29］。

 

       2003 年，DEROSSI D 等制作了一個帶有嵌入式的緊身衣和手套。碳負載橡膠傳感器。這些智能服裝記錄手臂和上軀干的運動以及手指的運動。圖 6 顯示在軀干彎曲時，位于左右兩側(cè)的傳感器將以相反的方式變化［30］。

4. 3 研究方向

       柔性壓力傳感器作為智能紡織品中的重要部件，其在醫(yī)療健康與運動防護方面主要作用為檢測呼吸、心率以及運動狀態(tài)，其精que率與穩(wěn)定性雖然已具有顯著成果，但在清洗以及智能紡織品的融合度方面還不夠完善，且價格偏高，需要通過對柔性壓力傳感器材料、結(jié)構(gòu)以及器件方面的創(chuàng)新研究，使其易于清洗、不易損壞且增強其與智能紡織品與智能服裝的融合度，使穿著佩戴者更加的舒適。 

 

5 結(jié)語

       柔性壓力傳感器能精que、快速地感應(yīng)到周圍環(huán)境中的微弱壓力變化，其對智能紡織品與智能服裝的發(fā)展產(chǎn)生了巨大影響，提高了人們的生活質(zhì)量，增加了服裝的功能性。柔性壓力傳感器的創(chuàng)新不僅僅帶動了材料、電子、化工等領(lǐng)域的創(chuàng)新與發(fā)展，更加帶動了智能紡織品與智能服裝的創(chuàng)新與變革。但由于其自身材料、結(jié)構(gòu)以及器件等的限制，其目前在智能紡織品方面的應(yīng)用范圍較小，在與智能紡織品的融合度方面還不夠完善，在應(yīng)用中還存在不易清洗，穿著舒適度不高等問題。因此，設(shè)計和開發(fā)適用于智能紡織品的新型材料、結(jié)構(gòu)以及器件的柔性壓力傳感器，提高柔性傳感器性能方面還需探索與研究。